磁栅尺工艺指标 ：
球栅尺SPHEROSYN 球栅尺MICROSYN
测量分辨率 0.005mm/0.001mm 0.001mm/0.0005mm
测量准确度 ±(0.01+0.005/m)mm ±0.005mm
*大运行速度 2m/sec 0.75m/sec
有效行程 50～11684mm(>30m) 50～1050mm
信号输出 Sin/Cos或RS422-TTL Sin/Cos或RS422-TTL
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