复合式三坐标测量机

测量范围： 400mm×200mm×200mm.....

测量范围： 400mm×200mm×200mm
允许工件重量：玻璃工作台20kg
示值误差： E≤(2.5+L/200)μm
探测误差： P≤2.8μm
探测系统 Renishaw接触式测头系统
         CCD非接触式测头系统
         激光扫描探测系统
长度测量系统： Renishaw精密光栅尺
分辨率: 0.1μm/0.5μm
物镜： 高品质测量物镜
光源系统： 玻璃工作台
           高精度同轴平行底光源
           顶光源（可选环形光源）
工作压力： (0.4-0.6)MPa
使用环境： 温度（20±2）℃
           湿度55%-65%